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Thin Film Deposition & Thermal Treatment
  • スパッタリング、蒸着、化学気相成長、レーザーアブレーション等によりナノ粒子、ナノワイヤ、ナノチューブ等を作製しています。最高温度、雰囲気制御、形状のことなる各種電気炉を使用して試料の熱処理を行っています。
Wet-chemical Process & Gas Analysis
  • 化学的、電気化学的な材料合成、ウエットエッチング、洗浄、スピンコーティング等の設備です。
Electron Microscope
  • 透過型電子顕微鏡と走査型電子顕微鏡を日常的に使用しています。透過型電子顕微鏡観察のための超薄試料作製設備を備えています。
Optical Spectroscopy
  • 紫外から赤外領域、フェムト秒からCW、２Ｋ～室温で光学特性評価を行っています。各種のレーザー、分光器、検出器を組み合わせて独自のシステムを組み、材料の光学特性評価を行っています。光電流測定、電流注入発光、電界発光の測定を行っています。１０Ｔの超伝導マグネットを用いて強磁場下での光学測定が可能です。
Electrical Measurement
  • ソースメジャーユニット、LCRメータ、オシロスコープ、真空プローバー、ポテンショ/ガルバノスタット等材料の電気特性評価を行う装置を一通り揃えています。
Others
  • 実体顕微鏡、金属顕微鏡等、各種計測器等の実験研究遂行に最低限必要な装置は概ね揃っています。